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产品介绍

我们的纳米陶瓷涂层的气孔率在1％以下，绝缘性能提高了2倍，具有高耐磨损性能，因此，我们的纳米涂层在等离子刻蚀、真空沉积等半导体工业和平板显示器生产设备上具有极为广泛的应用前景。

在晶圆生产中，刻蚀机的腔室可采用表面涂层的处理方法来减少腔体的腐蚀和金属离子的污染，提高等离子体刻蚀晶片生产中腔室材料的使用寿命。

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